Технологический процесс стерилизации почвы паром от вредителей был изобретен в 1888 году.  Этот метод — альтернатива агрохимическому. Он быстро и безопасно уничтожает бактерии, вирусы, грибки, нематоды и их метаболиты, а такжепочти все сорняки и их семена. Пар в почве стимулирует химико-биологические превращения, делаяразличные питательные элементы легкодоступными для растений. Паровой метод обработки почвы частично дезинфицирует ее,  сохраняя жизнедеятельность большинства значимых для плодородия почвы спороформирующих бактерий. Паровой обработкой успешно оздоравливается больная почва полей и теплиц, а также — компост.

В 2010 г. немецкие ученые проверяли эффективность паровой стерилизации почвы по уничтожению сорняков. По сравнению с обработкой гербицидами урожайность рукколы и свеклы повысилась на 20 процентов, причем сорняки погибли полностью. 

Существуют различные способы паровой обработки почвы:

1. Участок в 400 м² укрывается «паровой тканью» (специальная ворсистая синтетическая ткань — флис), которую плотно прижимают к земле грузами; и под нее от парогенератора подается пар в течение 4-5 часов на глубину 20-30 см при температуре 90°С. Время воздействия пара определяется структурой грунта и температурой среды. Его рассчитывают таким образом: 1-1,5 часа — на каждые 10 см глубины обработки. Таким образом удается прогреть почву до 85°С. Аналогично происходит процесс с использованием листов из алюминия или стали: время воздействия — 30 минут, глубина — 25 см, температура — 90°С.
2. Глубокую вакуумную обработку паром проводят при помощи системы наземных труб с  наконечниками, погруженными на необходимую глубину — до 80 см.
3. Комбинированную обработку поверхности и на глубину («сендвич-технологию») осуществляют с помощью специальной машины, оснащенной паровым генератором и устройством ввода пара в землю. При таком методе пар поступает параллельно на поверхность и в глубину грунта. Метод экономит 30 процентов энергии и сокращает время процесса на 50 процентов.

Обработке земли по первому способу требует 80-100 кг пара на 1 м³, по третьему — 60 кг/м³.